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中圖三維光學表面輪廓儀品牌采用白光軸向色差原理,利用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)制成的SuperViewW1是一種用于對樣品表面進行快速、重復性高、高分辨率的三維檢測的精密儀器,它的特點是可以達到納米級的檢測精度。測量范圍從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,可以快速獲取數(shù)據(jù)進行檢測,主要用于成品質(zhì)量的管理,確保良品合格率。
SuperViewW1光學形貌測量儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。
SuperView W1光學輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
SuperView W3光學3D輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。
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