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中圖儀器SuperViewW納米級高精度白光干涉測厚儀的復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn)，即可自動(dòng)掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。

SuperViewW中圖精密白光干涉儀基于白光干涉技術(shù)原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW高分辨率3d白光干涉儀能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)?？梢詮V泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

SuperViewW1白光干涉技術(shù)3D測量輪廓儀是以白光干涉技術(shù)為原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能.

中圖儀器SuperViewW白光干涉儀摩擦磨損形貌檢測儀非接觸式掃描測量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW1白光干涉3D顯微檢測儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW白光干涉儀測量粗糙度設(shè)備以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW1白光干涉光學(xué)3D表面形貌輪廓儀利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)，能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能.