PLR3000非接觸式高精度光纖激光尺分辨率可達(dá)10nm,線性精度高達(dá)0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
GTS系列6自由度激光跟蹤測量儀與空間姿態(tài)探頭配合組成六自由度激光跟蹤儀,能夠根據(jù)合作目標(biāo)的精確空間姿態(tài)對被測工件的內(nèi)部特征、隱藏特征或曲面等復(fù)雜特征進(jìn)行快速、高精度的測量。能夠解決大型、超大型工件和大型科學(xué)裝置、工業(yè)母機(jī)等全域高精度空間坐標(biāo)和空間姿態(tài)的測量問題。
GTS百米空間坐標(biāo)激光跟蹤儀與空間姿態(tài)探頭配合組成六自由度激光跟蹤儀,能夠根據(jù)合作目標(biāo)的精確空間姿態(tài)對被測工件的內(nèi)部特征、隱藏特征或曲面等復(fù)雜特征進(jìn)行快速、高精度的測量。能夠解決大型、超大型工件和大型科學(xué)裝置、工業(yè)母機(jī)等全域高精度空間坐標(biāo)和空間姿態(tài)的測量問題。
PLR3000系列高穩(wěn)定性光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率,分辨率可達(dá)10nm,線性精度高達(dá)0.2ppm,同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì),保證了更高的穩(wěn)定性,具有安裝快捷,易于準(zhǔn)直等特點(diǎn),是特別為超高精度位置反饋應(yīng)用而設(shè)計(jì)。
GTS系列6D空間姿態(tài)激光跟蹤儀與空間姿態(tài)探頭配合組成六自由度激光跟蹤儀,能夠根據(jù)合作目標(biāo)的精確空間姿態(tài)對被測工件的內(nèi)部特征、隱藏特征或曲面等復(fù)雜特征進(jìn)行快速、高精度的測量。能夠解決大型、超大型工件和大型科學(xué)裝置、工業(yè)母機(jī)等全域高精度空間坐標(biāo)和空間姿態(tài)的測量問題。
GTS空間定位激光跟蹤測量儀用于百米大尺度空間三維坐標(biāo)的精密測量,集激光干涉測距技術(shù)、光電檢測技術(shù)、精密機(jī)械技術(shù)、計(jì)算機(jī)及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計(jì)算理論于一體,可用于尺寸測量、安裝、定位、校正和逆向工程等應(yīng)用。
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