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SuperViewW1光學形貌輪廓儀是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器,主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
CHOTEST中圖儀器SuperViewW1光學輪廓度測量儀是以白光干涉技術(shù)為原理的白光干涉儀,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測,具有測量精度高、操作便捷、功能全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點。
除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,光學表面輪廓儀品牌SuperViewW1具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應(yīng)變測量以及表面形貌測量。
SuperViewW1國產(chǎn)光學輪廓儀品牌測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣。其特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
SuperViewW1白光干涉光學3D表面輪廓儀可對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量,主要對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
CHOTEST中圖儀器3d光學輪廓儀品牌SuperViewW1采用光學干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
SuperViewW13d光學輪廓測量儀可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺標準行程為140*110mm,局部位移精度可達亞微米級別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達0.4um,Z向掃描電機可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達0.1nm級別,因此可測非常微小尺寸的器件。
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