白光干涉儀是目前三維形貌測(cè)量領(lǐng)域精度最高的檢測(cè)儀器之一。在同等放大倍率下，測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級(jí)別的超高精度加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它儀器達(dá)不到檢測(cè)的精度要求。

　　是利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長(zhǎng)度或折射率的微小改變量，從而測(cè)得與此有關(guān)的其他物理量。

　　白光干涉儀的性能特征：

　　1、高精度、高重復(fù)性

　　3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測(cè)量系統(tǒng)，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng)，保證了測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。

　　2、一體化操作的測(cè)量分析軟件

　　測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，可視化窗口，結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能，自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過程。

　　3、精密操縱手柄

　　集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成Z向聚焦、載物臺(tái)平移、找條紋等測(cè)量前工作。

　　4、雙重防撞保護(hù)措施

　?。?）軟件防撞保護(hù)ZSTOP

　　即在Z軸上設(shè)置停止位，設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當(dāng)鏡頭運(yùn)動(dòng)到該位置時(shí)，就立刻停止不再向下運(yùn)動(dòng)，起到保護(hù)樣品和鏡頭的作用。

　?。?）Z軸硬件防撞傳感器

　　在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器，當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時(shí)，觸發(fā)感應(yīng)器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開關(guān)，不再響應(yīng)向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護(hù)，守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品，也守護(hù)每一分價(jià)值和信任。