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?SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀檢測設(shè)備主要對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、腐蝕情況、孔隙間隙、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。

?SuperViewW1非接觸三維光學(xué)輪廓儀器是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。它能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。

SuperViewW1光學(xué)輪廓測量儀具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。

?中圖儀器3d光學(xué)表面輪廓儀檢測儀能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。主要用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析。

中圖儀器SuperViewW1非接觸光學(xué)表面3d輪廓儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。其重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d輪廓儀一體化操作軟件，測量與分析同界面操作，預(yù)先配置好分析參數(shù)，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)，實現(xiàn)快速批量測量。

中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀設(shè)備可以達(dá)到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)?？蓮V泛應(yīng)用于汽車零部件、半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、微納材料及制造、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高校科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器3D粗糙度輪廓儀支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um。